진공 챔버 기술
진공 챔버 기술 펨토사이언스의 진공챔버는 일반적인 챔버와는 달리 CFD분석과 공학적 설계를 통하여 완벽하고 균일한 플라즈마를 생성시키는 펨토사이언스만의 독자적인 챔버입니다. 플라즈마 공정에 있어, 진공 챔버는 내부 가스를 배출시키는 구조에 따라서, 횡형 챔버 및 종형 챔버로 구분 할 수 있습니다. 펨토사이언스의 특허받은 [...]
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