공정기술

Plasma Technology

파렐린 코팅 2021-11-22T05:09:49+00:00

파렐린 코팅

파렐린(Parylene)은 ‘파라-자일렌 (Para-Xylylene)’ 중합체의 여러가지 종류를 통칭하는 이름입니다.
파렐린 코팅이란 진공 상태에서 분말 상태의 원료를 기화시켜 폴리머 형태의 필름막을 형성시키는 기술로써
화학 증착법(CVD: Chemical-Vapor Deposition)을 이용하는 코팅 기술입니다.

파렐린 코팅 프로세스

Step 1. Vaporizer
Powder 형태의 파릴렌 Dimer를 Heaing zone에서 가열이 되면 Dimer 가스 형태가 됩니다.

Step 2. Pyrolizer
Dimer 형태에서 650℃ 이상 가열되면서 Dimer 형태에서 Monomer 가 됩니다.

Step 3. Deposition
Monomer gas 는 상온의 증착챔버 내 모든 표면에 얇고 투명한 Polymer 막을 형성합니다.

파렐린 코팅의 우수성

파렐린을 통해  균일한 두께를 가지며 핀홀이 없는 컨포멀(Conformal) 코팅이 가능합니다.

담금, 스프레이

– 불균일한 코팅
– 핀홀 발생
– 열적, 기계적 변형 발생

파렐린 코팅

– 균일한 코팅막 (모서리와 끝단 모두 코팅막이 균일함)
– 핀홀이 없음
– 열변형, 기계적 변형이 없음

  • 우수한 발수성, 가스(수증기, 산소 등) 차단능력
  • 뛰어난 내식, 방청 성능, Outgas 발생이 거의 없음
  • 많은 화학물질들 (산, 알카리, 유기액체 등)에 대한 강한 내성
  • 높은 전기절연성 (저유전율, 저유전정접)
  • 초저온에서 기계특성, 유연성에 우수
  • 표면의 매끄러움을 증가시키고 투명한 박막을 제공
  • 친환경적 코팅 물질로, 인체에 무해한 순수 화합물 (ODP 발생 물질 없음, VOC Free)

Parylene Coating System

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