Wide Flux 150 2021-11-30T06:56:27+00:00

대기압 플라즈마

WIDE FLUX 150
Atmospheric Plasma System
Plasma DBD
Gas Ar, O2
Generator 13.56 MHz / Max. 300W
Controller Auto & Manual control by 7” Touch PC
Option X,Y,Z Robot Control
DATA SHEET(PDF)
견적문의
Technical Data
플라즈마 헤드
  • Plasma Type: Direct Plasma
  • Effective coverage : 150mm (Width)
  • Cooling : Water cooling
  • Body material : 5083 series Al alloy
샘플 플레이트
  • Size : 180mm x 180mm
  • Max. sample Height : < 3mm
플라즈마 전원공급기
  • 주파수 : 13.56MHz (RF)
  • 파워 : 최대 300W
  • 자동 임피던스 매칭 : 출력 모니터링 & 제어
가스공급 시스템
  • 가스 공급 라인 : 2 채널 (Ar, O2)
  • 가스 유량 제어 : Mass Flow Controller (가스유량 조절기)
  • MFC 조절 유량 : Ar – 30 slm / O2 – 100 sccm
제어기
  • 사용자 인터페이스 7인치 터치스크린 PC
  • Fully Automatic / Manual Mode
  • Process Recipes (up to 10 steps)
  • 프로세스 진행 상태 및 에러 실시간 감지
Customization
  • Robot Control
  • Roll to Roll System