진공플라즈마
Customized Vacuum Plasma System
COWIN
Customized Vacuum Plasma System
| Process Mode | PE |
|---|---|
| Chamber | W.330 x D.350 x H.340 (mm) |
| LF Generator | 20~100kHz Max. 300W |
| MFC | Max. 500 sccm |
| Gauge Pressure | Atm ~ 5 x 10-4 Torr |
| Operation | Manual & Automatic |
| Geometry | W.800 x D.800 x H.1,800 (mm) |
Technical Data
프로세스 챔버
- 플라즈마 모드 : PE / DUAL ( PE & RIE )
- 챔버 내부 크기 : Customized (Standard) 330 x 350 x 340 mm
- 챔버 형태: Single, Multi, Dual Electrode / Extended / Powder Treatment
- 균일한 가스 흐름 설계 (Patent No. 10-1697205)
전극 형태
- Liquid cooling design
- Top ceramic insulation pocket
- RF noise shielding cover
플라즈마 전원공급기
- 주파수 : (LF)20 ~ 100 kHz(10kHz Increment) / (RF)13.56 MHz
- 파워 : (LF)최대 300W / (RF)최대 300W(opt. 600W)
- 자동 임피던스 매칭 : 출력 모니터링 & 제어
가스공급 시스템
- 최대 가스 공급 라인 : 4 채널
- 가스유량제어 : 전용 Mass Flow Controller (가스유량 조절기)
- 퍼지 라인 : 1ea
- 벤트 라인 : 1ea
- MFC 조절유량 : 최대 500 sccm
진공 시스템
- 진공게이지 측정범위 : Atm ~ 1 x 10-4 Torr
- 진공펌프 : 오일 로터리펌프 / 펌핑속도 : 290ℓ/min @ 60Hz
- 최저도달압력 : 1 x 10-4 Torr
시스템 치수
- 메인 시스템 : Customized(Standard) 800 x 800 x 1800 (W x D x H, mm)
- 진공펌프 : 250 x 709 x 387 mm (W x D x H, mm)