Mass Flow Controller (MFC)
플라즈마 공정에서 원하는 화학반응을 얻기 위해서는 공정가스의 흐름제어가 매우 중요합니다.
특수한 가스들을 폭넓게 운영할 수 있어야 하며, 공정가스의 제어는 정확하고 반복적으로 실행되어야 합니다.
펨토사이언스는 공정 가스들의 흐름을 정확히 제어하며, 펨토사이언스의 시스템에 최적화된 Mass Flow Controller
또한 자체 개발하고 제작하여 제공 드리고 있습니다.
SB-100 / SB-200
Mass Flow Controller (MFC)
| Flow Rate | 100, 200 sccm |
|---|---|
| Signals | N2, O2, Air, H2, Ar, He, CO2, N2O |
| Gas Connections | ¼”, LOK Fitting |
| Operation Temperature | -20℃ ~ 65℃ |