대기압 플라즈마
WIDE FLUX 150
Atmospheric Plasma System
| Plasma | DBD |
|---|---|
| Gas | Ar, O2 |
| Generator | 13.56 MHz / Max. 300W |
| Controller | Auto & Manual control by 7” Touch PC |
| Option | X,Y,Z Robot Control |
Technical Data
플라즈마 헤드
- Plasma Type: Direct Plasma
- Effective coverage : 150mm (Width)
- Cooling : Water cooling
- Body material : 5083 series Al alloy
샘플 플레이트
- Size : 180mm x 180mm
- Max. sample Height : < 3mm
플라즈마 전원공급기
- 주파수 : 13.56MHz (RF)
- 파워 : 최대 300W
- 자동 임피던스 매칭 : 출력 모니터링 & 제어
가스공급 시스템
- 가스 공급 라인 : 2 채널 (Ar, O2)
- 가스 유량 제어 : Mass Flow Controller (가스유량 조절기)
- MFC 조절 유량 : Ar – 30 slm / O2 – 100 sccm
제어기
- 사용자 인터페이스 7인치 터치스크린 PC
- Fully Automatic / Manual Mode
- Process Recipes (up to 10 steps)
- 프로세스 진행 상태 및 에러 실시간 감지
Customization
- Robot Control
- Roll to Roll System