파렐린 코팅 시스템
LAVIDA 110
Parylene Coating System
| Vaporizer | Max. 200℃ (Up to 10 steps) |
|---|---|
| Pyrolysis | Max. 800℃ (3 Zoned Heater) |
| Chamber | I.D. 200 X Length 420 (mm) |
| Operation | Manual & Automatic |
| Geometry | W.1,600 x D.800 x H.1,300 (mm) |
Technical Data
Parylene Coating
Operation
Operation
Watch video
증발기 (Vaporizer)
- 알루미늄 순수 통 가공으로 누설 최소화
- Vaporizer heater : Max. 200℃
- Door heater for thermal blocking : Max. 200℃
- Vaporizing temp. setting : Up to 10 step (Temp & Time)
열분해로 (Pyrolyzer)
- Tube Material: Quartz (or Inconel as an alternative)
- Pyrolizer heater : Max. 800℃
- 3 x zoned (independent) heater
- Temperature Sensor: 2-wire K-type sensor x 3ea (Each sensor for each heater)
증착챔버 (Deposition Chamber)
- 알루미늄 순수 통 가공으로 누설 최소화
- 균일한 가스 흐름 설계 (Patent No. 10-1697205)
- 챔버 사이즈: I.D. 200mm x Length 420mm
- Substrate loading plate
- Magnetic type Rotary Feed through
냉각 트랩 (Cold Trap)
- Trap method : Direct trap, Glass condenser
- Lowest temperature : – 80℃
- Ambient temperature : 5 ~ 30℃
진공 시스템
- 진공펌프 : 오일 로터리펌프
- 펌핑속도 : 1,200ℓ/min @ 60Hz
- 최저도달압력 : 1 x 10-3 Torr
제어기
- 중앙처리장치 : 신호 컨트롤러 보드상의 DSP 운영방식
- 사용자 인터페이스 10.2인치 터치스크린 PC로 풀 오토 와 매뉴얼 프로세스 운용
- 사용자 recipe name 저장 가능
- 프로세스 진행 상태 및 에러 실시간 감지
시스템 치수
- 메인 시스템: 1,600 x 800 x 1,300 (W x D x H, mm)
- 냉각 트랩: 505mm x 620mm x 750mm (W x D x H, mm)
- 진공 펌프: 283mm x 736mm x 360mm (W x D x H, mm)
- * 당사의 개발과, 사용자의 요구에 따라서 치수가 변경될 수 있습니다.