진공(저압) 플라즈마
진공 플라즈마는 기체의 압력을 100Torr 이하로 유지하여 저온 플라즈마를 발생 시키는 시스템 기술을 의미합니다.
진공 플라즈마는 정상 상태의 안정한 Glow Discharge 상태를 유지하여 모재(Materials)에 하전 입자의 손상을 최소화 하여 공정을 수행합니다.
펨토사이언스의 진공 플라즈마 시스템
Reactor, Generator, Gas module, Pumping module, Software 5가지 Module로 구성되어 있으며
Reactor의 종류에 따라 수평형 챔버, 수직형 챔버 2종류로 나뉘며, Generator의 종류에 따라 LF, RF, MW 등이 있습니다.
Process 공정에 따라 Gas를 선정하여야 하며, Reactor의 용량과 Pumping speed를 고려하여 Pump 선정을 하여야 합니다.
펨토사이언스의 진공 플라즈마 시스템은 고유의 Reactor 설계 특허와 Generator, Gas module 및 독자적인 Software 기술을 보유하고 있어
고객의 요구에 맞는 경쟁적이고 합리적인 가격으로 진공 플라즈마 시스템을 공급해 드릴 수 있음을 자신합니다.
Vertical Chamber
Horizontal Chamber