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진공 플라즈마 시스템

진공 플라즈마 시스템

"진공 플라즈마 시스템"은  

Reactor, Generator, Gas module, Pumping module, Software 5가지 Module로 구성되어 있으며,

Reactor의 종류에 따라 수평형 챔버, 수직형 챔버 2종류로 나뉘며, Generator의 종류에 따라 LF, RF, MW 등이 있습니다.


Process 공정에 따라 Gas를 선정하여야 하며, Reactor의 용량과 Pumping speed를 고려하여 Pump 선정을 하여야 합니다.


펨토사이언스의 진공 플라즈마 시스템은 고유의 Reactor 설계 특허와

​Generator, Gas module 및 독자적인 Software 기술을 보유하고 있어

고객의 요구에 맞는 경쟁적이고 합리적인 가격으로 진공 플라즈마 시스템을 공급해 드릴 수 있음을 자신합니다.