2020

• 01. 소재, 부품 전문기업 확인 기업 인증
• 02. 휴대형 플라즈마 발생장치 특허등록

2019

• 06. PLASMA PIPETTE CE, ROHS, FCC 인증서 획득

2018

• 01. 본점 이전: (소재지: 경기도 화성시 동탄기흥로 557, 금강펜테리움IT타워 504, 505호)
• 03. 공장등록증 인가 (29299)
• 05. 벤처기업 인증 (기술보증기금)

2017

• 01. 기판 처리용 종형 챔버 어셈블리 특허등록
• 01. 기판 처리용 횡형 챔버 어셈블리 특허등록
• 12. Parylene Coating System CE 인증서 획득

2016

• 08. 기업부설연구소 인증서 등록
• 12. 플라즈마 결합형 패럴린 코팅장치 특허등록

2011

• 10. ISO 9001:2008 인증서 획득
• 10. ISO 14001:2004 인증서 획득

2010

• 01. Plasma Etching and Ashing System CE 인증서 획득

2008

• 09. Plasma system CE 인증서 획득

2005

• 12. (주)펨토사이언스 법인 설립