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파릴렌 코팅 소개

파릴렌 코팅 소개

Parylene 이란 polyxylylene를 말하는 것이며,

Parylene coating 이란 상온의 진공상태에서 Parylene 을 열로 분해하여 polymer 형태로 만들어 코팅하는 것을 말합니다.


Parylene Coating은 진공 상태의 챔버 내 가스 형태로 형성되어 수 나노미터 ~ 수 마이크로 두께 단위로 코팅하고자는 물질에

증착되는 고분자 코팅으로 제품의 형태에 상관없이 conformal coating의 특성이 있습니다. 

화학적으로 매우 안정적이며 탁월한 보호막으로 전기∙전자 재료에 절연 및 방수를 위해 사용되고 있으며,

또한 FDA의 승인을 받은 생체적합성 제품으로 의료제품 코팅 재료, 엔지니어링 등 장치 부품의 표면 보호를 위해 사용되고 있습니다.


파릴렌 코팅 프로세스 


Parylene coating은 화학적 기상 증착법 ( Chemical Vapor Depostion : CVD ) 의 일종의 프로세스입니다.





Step 1. Vaporizer 

Powder 형태의 파릴렌 Dimer를 Heaing zone에서 가열이 되면 Dimer 가스 형태가 됩니다.

Step 2. Pyrolizer

Dimer 형태에서 650℃ 이상 가열되면서 Dimer 형태에서 Monomer 가 됩니다.

Step 3. Deposition

Monomer gas 는 상온의 증착챔버 내 모든 표면에 얇고 투명한 Polymer 막을 형성합니다.